產(chǎn)品展示
8N/7N系列純化器
應(yīng)用領(lǐng)域：
適用于電子半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發(fā)、實(shí)驗(yàn)分析等。
特點(diǎn)：
● 適用于氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣、氦氣和氨氣，原料氣不低?9.999%
● 深度脫除雜質(zhì)O2、H2O、CO、CO2、H2、N2、CH4和NMHC至1ppb/10ppb
● 雙塔交替吸附再生，單塔催化，終端Getter吸附，全自動(dòng)連續(xù)運(yùn)行
● EP級(jí)拋光不銹鋼管件
● 配置0.003μm過濾器，去除率可達(dá)99.999999% /99.99999%
● 西門子 PLC 可接入DCS系統(tǒng)
● 安全報(bào)警功能完善
● 可提供遠(yuǎn)程云服務(wù)
● 超凈環(huán)境中生產(chǎn)組裝
● 氣體處理量10-20000Nm3/h
公司地址：大連市甘井子區(qū)辛藝街18號(hào)
聯(lián)系電話：13304096368 0411-83700366
